百级洁净控氧烘箱 COH系列
防潮防氧化存储系列

防潮防氧化烘烤系列

洁净控氧(厌氧)固化系列

物料智能管控系统

百级洁净控氧烘箱 COH系列

主要特点

1

1. 内置耐高温高效过滤器,100级无尘环境

2. 稳定运行温度可250~450℃选择

3. 实时微量氧浓度检测系统,可对内部氧量进行监控

4. 氧浓度监控范围1~9999PPM;最低可达 ≤20PPM

5. LCD触摸式 7”中英文彩色可编程控制器

6. 全密封箱体设计,特别送氮和排氧回路,防氧化

7. CBI专利设计双门封结构,免除水冷管路阀件,可靠性高

1

产品主要应用

1. PI/BCB 胶高温厌氧固化

2. 环氧树脂胶厌氧固化

3. 晶圆退火或钝化

4. 掩模版清洗后无尘防氧化干燥